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用EDX分析,进入的电子束撞击样品并除了反向散射和二次电子,我们也得到X射线。这些x射线的能量水平是每种材料独特,所以我们可以用它来所存在的样品中的材料进行分类。这将通过所谓的EDX谱可视化。在EDX谱显示存在哪些元素,并允许定量以及峰值。
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